![]() |
![]() |
![]() |
|
![]()
|
Архив номеров
|
Установка для получения поликристаллического кремнияИзобретение относится к производству поликристаллического кремния. Установка для получения поликристаллического кремния содержит реактор водородного восстановления кремния 1, патрубок 2 выхода отработанной парогазовой смеси из реактора, соединенный трубопроводом 3 с охладителем 4. В патрубке 2 установлено сопло, с нижней части к которому присоединен цилиндрический стакан с патрубком. Внутри стакана в сопле выполнены отверстия. В верхней части на сопло установлена резьбовая втулка, к которой на ребрах прикреплен конический входной коллектор с цилиндрической камерой смешения. На камере смешения установлен сменный конический диффузор с цилиндрическим выходным патрубком. Предложенное изобретение позволяет повысить качество стержней поликристаллического кремния, снизить себестоимость получаемого материала, повысить производительность установки и коэффициент извлечения кремния из хлорсиланов.
Все права защищены. Запрещаются любые виды републикации без разрешения редакции журнала.
© Евразийский химический рынок, 2005-2023 |
|