Евразийский химический рынок
Поиск
16.08.2022
12.08.2022
11.08.2022
10.08.2022
Главная » Патенты » Способ получения полых монокристаллов кремния

Способ получения полых монокристаллов кремния

Способ получения полых монокристаллов кремния, включающий выращивание монокристаллов с помощью затравки, отличающийся тем, что выращивание осуществляют методом вертикальной бестигельной зонной плавки, включающем создание на расположенном вертикально исходном слитке кремния капли расплава с помощью индуктора, затравление выращиваемого монокристалла на затравке, в виде ориентированного в направлении [111] монокристалла кремния, разращивание конусной части выращиваемого монокристалла до заданного диаметра при смещении исходного слитка и индуктора в горизонтальной плоскости и при условиях выращивания, обеспечивающих выпуклый фронт кристаллизации на растущем монокристалле и, в момент достижения заданного диаметра выращиваемого монокристалла, выход грани (111) на поверхность в центре расплава, а затем выращивание полого монокристалла при положении столбика расплава, соединяющего покоящееся на растущем монокристалле кольцо расплава с каплей на исходном слитке, между краем грани (111) и цилиндрической поверхностью растущего монокристалла.

Наши партнёры
ТПК «ИНФРАХИМ» CREON Group
Конференции и выставки, проводимые при информационной поддержке журнала «Евразийский химический рынок»
Безопасность и охрана труда - 2022 Технотекстиль | technotextil Полимеры России и СНГ 2022 RUPLASTICA Азот-2022