Евразийский химический рынок
Поиск
23.06.2022
22.06.2022
21.06.2022
Главная » Патенты » Раствор для электрохимического растворения кремния

Раствор для электрохимического растворения кремния

Изобретение относится к электронной промышленности, а именно к технологии обработки полупроводниковых материалов, и может быть использовано при обработке полупроводниковых пластин кремния. Сущность изобретения: раствор для электрохимического растворения кремния содержит хлорид аммония, а в качестве растворителя - мочевину при следующем соотношении компонентов, мас.%: хлорид аммония 7-10; мочевина 90-93. Изобретение позволяет управлять скоростью травления кремния при выходе по току, близкому к 100%, и исключить из раствора экологически вредные вещества.

Наши партнёры
ТПК «ИНФРАХИМ» CREON Group
Конференции и выставки, проводимые при информационной поддержке журнала «Евразийский химический рынок»
Полимеры России и СНГ: строительство и модернизация заводов Интерпластика 2022 СПГ Конгресс Россия 2022 «Логистика химической промышленности» -CHEMICAL SC-2022 «Ингредиенты и добавки» Азот Синтезгаз Россия и СНГ Rosmould | Rosplast 2022 Безопасность и охрана труда - 2022